豆牛公司自主研制的国内首台12英寸PEALD设备通过客户验收

        2018年9月底，，，由沈阳豆牛科技有限公司自主研制的12英寸原子层沉积（Atomic Layer Deposition，，，，ALD）设备通过了客户的验收。。。

        ALD设备是集成电路制备过程中关键的薄膜沉积设备
，，，，被视为先进半导体工艺技术发展的关键环节之一
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。。。豆牛公司基于已通过生产验证的高产能PECVD设备平台
，，
，成功研制了国内首台量产型12英寸ALD设备，，并迅速推向市场
，，可应用于28nm以上极大规模集成电路，，，OLED及先进封装（TSV）领域，，，，投入先进生产线，，，用于沉积SiO2，，SiNx等绝缘薄膜。。。该设备已成功进入试生产线考核验证
，，
，，历时3个多月，，
，，通过了客户的考核验收，，，，设备各项性能指标均满足要求，
，，，且达到或超过了国际同类产品的先进水平，
，这是我国在实现半导体装备国产化进程中的又一重大突破。
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