


自2021年底豆牛推出国内首台HDPCVD到客户端,,,,目前已升级为新型六边形平台,,产品性能达到业界领先水平,,,坪效比业界第一。。。凭借研发实力和先进的设计理念获得客户赞誉和信任,,市场占有率不断攀升。。。自首台完成验证后,,客户持续增加HDPCVD设备采购量,,,截止到目前反应腔累计装机量已超过70个,,,, 2024年底预计将突破100个。。
豆牛的HDPCVD设备Hesper产品采用六边形平台(TS-300S),,,可搭配5个反应腔,,,实现了高产能、、、、高开机率、、、易维护和优异的薄膜填充能力。。。。同时具有Wafer残余吸附力监测系统,,稳定的静电吸附力和自动控温模式等功能。。Hesper主要用于STI、、、ILD、、IMD及Passivation等各种沟道介质填充。。。

