产品介绍

VS-300T 为豆牛自主研发的ALD原子层沉积设备。。。VS-300T 系列产品可搭载4个反应腔，，，，结构紧凑，
，同时满足高产能需求，，，，具有优异坪效比及CoO。。。该系列产品可沉积高质量的SiO、
、、、SiN、、
、TiO薄膜，，，在均匀性
、、、、颗粒度、、
、台阶覆盖率等方面达到国际领先水平，，
，，满足逻辑、、
、存储等客户先进技术节点要求
。。