产品系列
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产品介绍
产品介绍
NF-300H TEOS 设备为自主研发的产品，，主要应用于沉积时间需求长的薄膜工艺，，，在均匀性、、颗粒度、、粗糙度、、、、应力及产能等方面实现技术突破，，，，设备性能指标达同类产品水平。。。
产品特点
- 高产能设计和可实现多种薄膜沉积的快速切换
- 可满足沉积时间需求长的薄膜工艺
- 满足300-600℃高温沉积需求
- PM腔内可进行多片wafer沉积和wafer自动升降旋转功能
- 通过S2安全认证
